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  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "李嘉平".cadvisor (精準) and year="98"


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    反應性濺鍍氮化鈮薄膜及其作為銅導線之阻障層的失效機制研究
    • 化學工程系 /98/ 碩士
    • 研究生: 黃興安 指導教授:
    • 本研究主要以反應性濺鍍來成長NbNx薄膜於銅-矽基材多層膜系統中擴散阻障層失效機制的研究。觀察N2/Ar流量比對NbNx薄膜之沈積速率、N/Nb原子比、結晶結構、電阻率及表面型態之影響。實驗結果顯示…
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    錫-鐵-鎳三元系統之相平衡與錫/鐵-鎳合金之界面反應研究
    • 化學工程系 /98/ 碩士
    • 研究生: 林世偉 指導教授:
    • 本論文利用電弧熔融配製鐵-鎳-錫合金,探討其三元系統的相平衡,並使用液/固反應偶之技術,觀察錫/鐵-鎳合金之界面反應。實驗結果顯示,鐵-鎳-錫三元系統在270℃的等溫截面圖中,存在8個三相區、17個…
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